Inspizieren
-
Mini-Spindel in der Messtechnik
Feinpositionierung eines Sensors mit Hilfe eines Miniatur-Kugelgewindetriebs in einem Messsystems.
-
Präzisionskreuztisch zur Wafer Inspection
Ein Präzisionskreuztisch ermöglicht die simultane Inspektion von Silicium-Wafern von oben und unten.
-
Präzisionskreuztisch mit Reinraum-Energiekette
Präzisionskreuztisch mit innovativer reinraumtauglicher Energieführung zur Inspektion von Wafern.