Positioneeroplossingen om de doorvoer in uw belichtingsproces te verbeteren. Voor uiterst nauwkeurig belichten van afzonderlijke componenten bijvoorbeeld op een wafer, bieden wij zeer nauwkeurige, kant-en-klare precisiesystemen voor uw belichtingstaken die met hoge dynamiek bewegen en positioneren of stabiel en betrouwbaar op een vastgelegde positie blijven.